TH511 TH512 TH513系列   半导体 C-V 特性分析仪

TH510系列半导体 C-V 特性分析仪是常州同惠电子根据当前半导体功率器件发展趋势，针对半导体材料及功率器件设计的分析仪器。

仪器采用了一体化集成设计，二极管、三极管、MOS管及IGBT等半导体功率器件寄生电容、C-V 特性可一键测试，无需频繁切换接线及设置参数，单管功率器件及模组功率器件均可一键快速测试，适用于生产线快速测试、自动化集成。

C-V 曲线扫描分析能力亦能满足实验室对半导体材料及功率器件的研发及分析。

仪器设计频率为 1kHz-2MHz，VGS 电压可达 ±40V，VDS 电压可达 ±200V/±1500V/±3000V，足以满足大多数功率器件测试。

性能特点

❙ 一体化设计： LCR+VGS低压源+VDS高压源+通道切换+上位机软件

❙ 单管器件（点测）、模组器件（列表扫描）、曲线扫描(选件) 三种测试方式

❙ 四寄生参数(Ciss、Coss、Crss、Rg或Cies、Coes、Cres、Rg) 同屏一键测量及显示

❙ 标配2通道，可扩展至6通道，可测单管、多芯或模组器件

❙ C-V曲线扫描、Ciss-Rg曲线扫描

❙ 电容快速充电技术，实现快速测试

❙ 接触检查Cont

❙ 通断测试OP-SH

❙ 自动延时设置

❙ 栅极电压VGS：0 - ±40V

❙ 漏极电压VDS：0 - ±200V/±1500V/±3000V

❙ 10档分选

应用领域

半导体功率器件 —— 二极管、三极管、MOSFET、IGBT、晶闸管、集成电路、光 电子芯片等寄生电容测试、C-V 特性分析

半导体材料 —— 晶圆切割、C-V 特性分析

液晶材料 —— 弹性常数分析

电容元件 —— 电容器C-V 特性测试及分析，电容式传感器测试分析